P95硅片清洗剂 （Puratron - 95）  工艺编号：13095

简介：

P 95 硅片清洗剂配合超声波，专门应用于硅片表面（EGSW）在切锯，研磨及其他化学机械加工处理之后的垂直浸泡清洗。本品还可作为碱蚀的添加剂。

特性：

-          微碱性清洗剂。

-          高效，能溶解和去除锯齿泥浆。

-          分散能力非常好，能把已去除的微粒保存在溶液中，不会再次沉积到工

   件上。

-          吸收油污量大，槽液使用寿命长。

-          对硅片温和微蚀，如有需要可用氢氧化钠调整微蚀速率。添加P 95至氢氧根碱性溶液可降低蚀率的因数为10-20。因此，P95特别适合用于在生产过程中需要使用碱性去除表面物质（如：塑料复膜）的工艺。

-          适合用于所有硬质表面，亦适用于半导体物料如GnAs。

-          配合超声波或超音波来大批量处理，效果非常出色。

-          P 95 所含的表面活性剂对强碱和高温非常稳定。

-          P 95 适用于有纯度要求，每批Puratron -67的 铝、铜、铬、铁、镍、锌的浓度都经量度和证实，这些金属杂质的范围在0.3-2.0 ppm （视金属而定）。

操作：

P 95 用于垂直工艺生产线，配合超声波使用。

   浓度                5-8%

   温度                40-60℃

    可添加1-3% P95 至碱性微蚀溶液以改善碱性微蚀。

环境保护：

P 95 的主要物质是生物降解类，符合欧盟指引（648/2000）。

溶液废弃须根据使用者当地法规处理。

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V1.0TC20120416

                                                              本说明书为中文译本，只供参考，应以英文版为准。本说明书上所有建议，是根据信赖的实验室资料编成，由于不同的生产设备及工艺条件，可能会造成效果的差异，本公司并不承担任何责任。本说明书的所有内容不能作为侵犯版权的证据。